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GaAs/GaN用快速退火炉使用注意细节

发布时间:2021-07-16   点击次数:328次
  GaAs/GaN用快速退火炉的产品特点:
  1、控制电路采用模糊PID程序控制技术,控温精度高,热惯性小,无温度冲击,性能可靠,操作简单。
  2、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能。高真空系统采用高压耐冲击分子泵,防止意外漏气损坏分子泵,延长系统使用寿命。
 

GaAs/GaN用快速退火炉

 

  GaAs/GaN用快速退火炉使用细节:
  1、炉子使用或长期不用后,应120℃烘烤1小时,300℃烘烤2小时,以免炉裂。
  2、炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件和炉衬。
  3、严禁将各种液体和溶解金属直接倒入炉内,保持炉内清洁。
  4、如果在炉内使用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,称为失透(也称结晶),是连续熔化石英管的固有缺陷,属正常现象。
  5、冷炉在使用时,由于炉子是冷的,需要吸收大量的热量,所以低温段的升温速度不易太快,各温度段升温速度的差异不容易太大。设定升温速度时,应充分考虑烧结材料的物理化学性质,以免出现喷溅污染炉管的现象。
  6、定期检查温控系统电气连接部分是否接触良好,特别注意加热元件的连接点是否紧固。
  7、GaAs/GaN用快速退火炉使用一段时间后,如果真空度下降,可以更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅橡胶圈,或者重新安装不锈钢法兰盘,或者抽真空系统可以更换和维修,以提高系统的整体真空度。

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