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石墨镀碳化硅涂层设备主要有哪些产品应用?

发布时间:2022-05-12   点击次数:204次
  石墨镀碳化硅涂层具有耐高温、抗氧化、纯度高、耐酸碱、耐有机试剂等特点,理化性能稳定。与高纯石墨相比,高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化。即使温度不高,长期使用也会因氧化而去除粉末,从而附着在工件和工作台上或污染使用环境。因此,碳化硅包覆石墨基作为一种新型耗材,在MOVCD设备、粉末烧结等工艺中逐渐取代了高纯石墨基。
  
  石墨镀碳化硅涂层设备在高温条件下从特殊气体中释放出硅,使硅与碳直接结合,以特定形状包裹石墨基体,形成SiC保护层。形成的SiC与石墨基体结合牢固,赋予石墨基体特殊的性能,从而使石墨基体表面致密、无孔、耐高温、耐腐蚀、抗氧化。
  

石墨镀碳化硅涂层设备

 

  1、高温抗氧化性:抗氧化性。当温度达到1600℃时,抗氧化性仍然很好。
  
  2、高纯度:采用化学气相沉积法在高温氯化下制备。
  
  3、耐侵蚀:硬度高,表面致密,颗粒细。
  
  4、耐腐蚀:耐酸、碱、盐和有机试剂。
  
  石墨镀碳化硅涂层设备主要应用于半导体行业的许多生产环节。近年来,受产业转移、国内技术进步、政策支持、终端产业发展等因素影响,我国半导体产业呈现良好发展态势,为碳化硅包覆石墨盘需求增长提供了有力支撑。可以预见,碳化硅涂层石墨盘及其相关产业未来的发展环境将长期向好。
  
  1、MOCVD设备中用于GaN外延生长的石墨基底涂层。
  
  2、用于单晶硅外延生长的石墨基底涂层,包括平面基底、圆形基底和三维基底。
  
  3、用于单晶硅器件烧结炉的石墨底盘涂层。
  
  4、石墨加热器表面涂层(平面加热器、圆形加热器、圆柱形加热器等)。
  
  5、用于各种氧化物隧道窑烧结的石墨匣钵涂层。
  
  6、用于粉末冶金连续烧结的石墨基涂层。
  
  7、SiC涂层采用光学技术抛光,用于空间镜。

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