这些参数维持了高精密光学镀膜机的性能

　　高精密光学镀膜机采用e型电子枪蒸发源，可以蒸发各种高熔点金属和氧化物，并可以在玻璃，塑料和陶瓷基材上涂覆各种多层薄膜，例如：红外薄膜，宽带减反射膜，光谱膜，冷光膜，IR-CUT膜，干式滤光片，偏光膜，电气膜，适用于眼镜，光学镜片，精密光学部件，激光和电子行业的大规模工业生产。

　　1、电子枪输出功率稳定，特殊的结构设计有效地防止了二次电子的产生和电子枪的点火。

　　2、旋转采用磁性流体引入，长期运行可靠，密封可靠。

　　3、工件旋转座采用多重水冷和重力引导设计，运行稳定可靠，径向和轴向跳动为3-5mm。

　　4、它采用PLC+触摸屏控制，多个泵阀，水电联锁相互保护，并且可以在包括真空系统，烘烤系统和整个蒸发涂层过程在内的整个过程中进行自动控制。

　　5、该装置采用全四极质谱监测和氦质谱检漏，真空密封性好，设备技术稳定可靠。

　　6、所有零部件均可靠，稳定，可连续24小时连续长期运行。
 

　　高精密光学镀膜机的基本参数：

　　1、垂直前门结构，不锈钢真空室Φ1300X1500mm

　　2、极限真空度：1×10-4Pa（空载清洁真空系统，300°烘烤后方）。

　　3、真空恢复时间：大气压至4×10-3Pa≤15min。

　　4、高抽速主泵，两个KT-630扩散泵（18000L/s），配备了防湍流装置。

　　5、工件旋转：磁性流体密封旋转装置，旋转座多重水冷和重力引导设计，运行稳定可靠。

　　6、工件烘烤：在机筒上烘烤，三点温度控制，烘烤温度为350°。

　　7、永磁E型电子枪，枪功率10KW/件；可配置单枪或双枪，多腔坩埚和环形坩埚。

　　8、配备石英晶体膜厚控制器。

　　9、10英寸触摸屏和欧姆龙（PLC）编程控制器，用于控制设备的真空系统，蒸发源系统，烘烤系统，工件旋转系统，膜厚系统等，可以使用自动和手动模式。

　　10、高精密光学镀膜机可配备Φ16CM离子源或低温冷阱。