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这些参数维持了高精密光学镀膜机的性能

发布时间:2021-04-22   点击次数:45次
  高精密光学镀膜机采用e型电子枪蒸发源,可以蒸发各种高熔点金属和氧化物,并可以在玻璃,塑料和陶瓷基材上涂覆各种多层薄膜,例如:红外薄膜,宽带减反射膜,光谱膜,冷光膜,IR-CUT膜,干式滤光片,偏光膜,电气膜,适用于眼镜,光学镜片,精密光学部件,激光和电子行业的大规模工业生产。
  1、电子枪输出功率稳定,特殊的结构设计有效地防止了二次电子的产生和电子枪的点火。
  2、旋转采用磁性流体引入,长期运行可靠,密封可靠。
  3、工件旋转座采用多重水冷和重力引导设计,运行稳定可靠,径向和轴向跳动为3-5mm。
  4、它采用PLC+触摸屏控制,多个泵阀,水电联锁相互保护,并且可以在包括真空系统,烘烤系统和整个蒸发涂层过程在内的整个过程中进行自动控制。
  5、该装置采用全四极质谱监测和氦质谱检漏,真空密封性好,设备技术稳定可靠。
  6、所有零部件均可靠,稳定,可连续24小时连续长期运行。
 

高精密光学镀膜机

 

  高精密光学镀膜机的基本参数:
  1、垂直前门结构,不锈钢真空室Φ1300X1500mm
  2、极限真空度:1×10-4Pa(空载清洁真空系统,300°烘烤后方)。
  3、真空恢复时间:大气压至4×10-3Pa≤15min。
  4、高抽速主泵,两个KT-630扩散泵(18000L/s),配备了防湍流装置。
  5、工件旋转:磁性流体密封旋转装置,旋转座多重水冷和重力引导设计,运行稳定可靠。
  6、工件烘烤:在机筒上烘烤,三点温度控制,烘烤温度为350°。
  7、永磁E型电子枪,枪功率10KW/件;可配置单枪或双枪,多腔坩埚和环形坩埚。
  8、配备石英晶体膜厚控制器。
  9、10英寸触摸屏和欧姆龙(PLC)编程控制器,用于控制设备的真空系统,蒸发源系统,烘烤系统,工件旋转系统,膜厚系统等,可以使用自动和手动模式。
  10、高精密光学镀膜机可配备Φ16CM离子源或低温冷阱。

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