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维修化合物半导体用快速退火炉时需要注意哪些?

发布时间:2021-06-22   点击次数:147次
  化合物半导体用快速退火炉采用碘钨灯管作为加热元件,加热速度极快,采用S型热电偶测温,采用模糊PID控制,温度控制精度高。那么我们在维修时应该注意什么呢?
 

化合物半导体用快速退火炉

 

  1、长期使用或不使用炉子后,120℃烘烤1小时,300℃烘烤2小时,以免炉内开裂。炉温不应超过额定温度,以免损坏加热元件和炉衬。严禁将各种液体和溶解金属直接倒入炉内,保持炉内清洁。
  2、如果化合物半导体用快速退火炉炉内使用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明。这称为脱玻,是连续熔融石英管的固有缺陷,这是正常现象。
  3、使用冷炉时,由于炉子是冷的,需要吸收大量的热量,所以低温段的升温速度不易过快,各温度段不易相差太大。设定升温速度时应充分考虑烧结材料的物理化学性质,以免出现喷溅污染炉管的现象。
  4、定期检查温控系统的电气连接部分是否接触良好,特别要注意加热元件各连接点的连接是否紧密。
  5、炉子使用一段时间后,如果真空度下降,可以更换不锈钢法兰之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰或真空系统进行修复以提高系统的整体真空度。
  6、炉子工作时,一般在300℃左右。若控制偏差无法消除,则为温度显示值与程序设定值不符或摆动过大。检查参数“M5、P、t”是否设置正确。
  7、化合物半导体用快速退火炉适用于以下工况:
  (1)环境温度在-10~75℃之间。
  (2)周围环境相对湿度不超过85%。
  (3)炉膛周围无可严重损坏金属和绝缘材料的导电粉尘、爆炸性气体或腐蚀性气体。
  (4)无明显倾斜、振动或颠簸。
 

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