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来看看椭偏仪的系统配置

发布时间:2021-07-21   点击次数:77次
  椭偏仪是一种利用光偏振态的变化来表征薄膜性质的仪器,主要用于测量薄膜的厚度和NK参数。自然光(紫外光、可见光和红外光)转化为全偏振光后,以一定的角度入射到样品上。进入样品介质后,偏振光将被反射回偏振器。因为样品介质会改变偏振光的偏振状态,而这种变化会被测量到。
  椭偏仪采用双光谱仪耦合实现250-1700nm超长波段检测,可实现对紫外、可见、红外波段材料的全覆盖测量研究。同时可匹配平台自动扫描、自动换角、微点检测、平台加热等功能,满足不同应用需求。
  系统配置:
  1、探测器:阵列探测器,
  2、光源:大功率DUVvisNIR复合光源
  3、软件:tfprobe3.3
  4、入射角变化:手动调节
  5、测量类型:膜厚、折射率、消光系数和多层叠层
  6、电脑:Intel双核处理器,19寸宽屏液晶显示器
  7、电源:110–240VAC/50-60Hz,6A
  8、保修:整机及零部件保修一年
  椭偏仪通过测量基材反射的偏振光来测量薄膜的厚度和材料在不同波长下的折射率。Specel由PC控制以测量折射率、吸光度和薄膜厚度。
  1、集成精密测量系统
  椭偏仪由一个集成光源、一个光谱仪和两个70°的偏光片和一台32位操作系统的PC组成。可测量0.1nm-5um厚的单层薄膜,折射率可达0.005%。
  2、配置文件
  通过specei软件,可以对实验设计方法进行配置和存储,实现一键分析,所有配置都保存在配方文件中。创建配方后,您可以选择不同的配方来进行实验。

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