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你了解什么是静电卡盘吗?

发布时间:2021-08-23   点击次数:60次
  静电卡盘采用的静电吸附技术是替代传统机械夹持和真空吸附的有利技术,广泛应用于半导体、面板显示、光学等领域。在真空中,两个驻点电荷Q1和Q2之间相互作用力的大小与Q1和Q2的乘积成正比,与它们之间的距离r的平方成反比。力的方向沿着它们的连线,同种电荷互相排斥,异种电荷互相吸引。
  当一个带静电的物体靠近另一个不带静电的物体时,由于静电感应,靠近带静电物体的不带静电物体的一侧会积聚与带电物体所带电荷相反极性的电荷(另一侧将产生相同数量的相同极性的电荷)。由于相反电荷的吸引,会表现出“静电吸附”现象。静电吸盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元和静电吸附单元组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护和高压脉冲保护;静电吸附单元的电极采用高频导体。一面采用氮化铝陶瓷涂层,另一面采用聚酰亚胺薄膜涂层,保证输出稳定,避免高压静电电压急剧击穿。
  传统的抓取搬运设备采用机械运动或真空抽吸,但此类机器体积大、成本高、功耗大;要拾取特定对象,您还需要配置它们。如果物体是玻璃板等易碎物体,他们无能为力。静电卡盘系统可以提升和输送物体,其表面的电极几乎可以在任何物体之间产生并保持强大的吸附力。它可以拾取任何物体,如罐子、水果、盒子、盒子、玻璃板、硅胶板和纤维板。
  1、可在常压和真空环境下使用;
  2、可吸附导体、半导体、绝缘体和多孔材料;
  3、简化的夹持和搬运机构,静电吸附能耗低;
  4、吸附力均匀,吸附时不会出现局部应力;
  5、轻柔支撑大面积片材工件,吸附时无疤痕皱纹;
  6、静电卡盘可以快速打开和关闭。物体背面不产生电位,不吸收周围灰尘。

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