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椭偏仪对样品都有哪些要求?

发布时间:2022-05-24   点击次数:262次
  椭偏仪用于测量透明基板上的电介质、有机物、半导体、透明薄膜等各种薄膜的膜厚、介电常数(n、K)及成分比;它具有分析材料各向异性、多层膜、薄膜致密性、多孔材料和聚合物薄膜等特殊结构材料的光学性能的能力,可以测量薄膜的各向异性、双折射、散射和穆勒矩阵。
  
  椭偏仪具有优异性能的多角度手动测角仪和具有优异角度精度的激光椭偏仪可以测量单层和层压薄膜的折射率、消光系数和薄膜厚度。高速的测量速度使用户能够监测单层薄膜的生长和终点检测,或自动扫描样品的均匀性。基材可以从特定的入射角和应用角度中选择。自动准直透镜可确保在大多数平面反射表面上对吸收或透明基材进行准确测量。*集成的多角度测量支持(40°-90°,5°步长)可用于确定叠层的厚度、折射率和消光系数。为了补偿测厚的模糊性,激光也用于测厚。
  

椭偏仪

 

  椭偏仪用于测量超薄单层薄膜的厚度,小型台式仪器由椭偏仪、测角仪、样品台、自动准直镜、氦氖激光光源和检测单元等光学部件组成。选件支持微电子、光伏、数据存储、显示技术、生命科学、金属加工等领域的应用。它对样品有如下要求:
  
  1、样品状态:材料一般为块状或薄膜状,对尺寸无特殊要求。
  
  2、如果带基材的薄膜结构需要折射率和消光系数,基层越厚越好,薄膜厚度应小于10um。如果是单层薄膜样品,无基材,薄膜越厚越好,最好在500um以上;膜层应透明且膜层表面均匀,基材无需透明。
  
  3、特殊情况需提前沟通。

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