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说说光学镀膜机的结构和原理

发布时间:2022-06-22   点击次数:296次
  光学镀膜是指在光学零件表面镀一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺。光学零件表面镀膜的目的是减少或增加对光反射、分束、分色、滤光和偏振的要求。常见的镀膜方法有真空镀膜(一种物理镀膜)和化学镀膜。
  
  光学镀膜机可制备各种具有光学生成的薄膜,改变所用基材材料的透光率和反射率特性,如AR、uv/ir截止滤光片、AF、电机金属膜、硬AR膜、增强反射膜、硬膜、装饰膜、ITO膜、分色镜、带通滤光片、偏光树脂、RGB滤光片、光触媒、HR膜等,广泛应用于数码相机、智能手机、眼镜投影仪、光拾取器、光学通讯、LED、电子用品、装饰用品、太阳能电池、显示器等。
  
  光学镀膜机由真空系统、蒸发系统、冷却系统和电气系统组成。真空系统由真空罐和排气系统组成,真空罐是镀膜机的主体。涂装过程在真空罐中完成。真空罐通过连接阀与排气系统连接。为了防止空气分子对溅射离子的影响,提高薄膜质量,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责将真空罐内的气体排出,在罐内形成真空环境。蒸发系统主要指成膜装置,镀膜机的成膜装置有多种,如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
  
  光学镀膜机的原理是通过真空溅射在光学元件上镀膜薄膜,从而改变元件对入射光的反射率和透射率。同时,为了减少元件表面的反射损失,提高成像质量,往往会镀上多层膜。光学元件镀膜后,光线在多层膜表面多次反射和透射,形成多光束干涉。通过控制薄膜的厚度和折射率可以获得不同的强度分布。基于此原理,可以制造偏振反射膜、分光膜、冷光膜和干涉滤光片,以满足更复杂的要求。

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