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石墨托盘进行腐蚀清洗的方法包括以下步骤

发布时间:2022-07-20   点击次数:21次
  石墨托盘包括盘体和覆盖在盘体上表面的支架盖。盘体为扁平圆柱形,其上表面为平面盘体可由石墨材料制成,上表面覆盖有一层碳化硅保护层,其上表面为支架上设有用于容纳MOCVD工艺基板的凹槽支架可以采用石英材料制作本发明的优点是提高石墨托盘在MOCVD设备中的使用寿命和适用性,使其可以适用于不同尺寸和形状的基材。
 
  

石墨托盘
 

 

  1、热稳定性:根据快速加热和冷却的使用条件,专门设计以确保产品质量的可靠性。
  
  2、耐腐蚀:均匀精细的基体设计延缓了产品的腐蚀程度。
  
  3、抗冲击性:产品能承受*的热冲击强度,因此可以安全地进行任何工艺处理。
  
  4、耐酸性:特殊材料的加入显着提高了产品质量,耐酸性指标表现良好,大大延长了产品的使用寿命。
  
  5、高导热性:高含量的固定碳保证了良好的导热性,缩短了溶解时间,显着降低了能耗。
  
  6、金属污染控制:对材料成分的严格控制,确保产品溶解时不会污染金属。
  
  7、质量稳定性:高压成型法的制造工艺和质量保证体系,充分保证质量的稳定性。
  
  采用MOCVD设备对石墨托盘进行腐蚀清洗的方法包括以下步骤:
  
  1、将石墨托盘放入MOCVD设备的反应室中;
  
  2、调节反应室温度和反应室上盖上的石英顶板;
  
  3、注入氯化氢进行预腐蚀;
  
  4、增加氯化氢流量,根据石墨盘生长材料的厚度确定腐蚀速率;
  
  5、停止加氯化氢,烘烤石墨盘;
  
  6、关闭加热,反应室温度降至100℃以下,腐蚀清洗完成。
  
  在MOCVD设备的基础上直接腐蚀石墨托盘,无需额外的设备改造。石墨盘采用氯化氢腐蚀清洗,既解决了腐蚀的均匀性问题,又能准确掌握腐蚀程度,间接减少对石墨盘的影响,延长石墨盘的使用寿命,降低产量成本。
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