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静电卡盘

更新时间:2021-01-15

访问量:83

厂商性质:生产厂家

生产地址:

简要描述:
静电夹持卡盘,品牌:ECM,型号:E-Chucks
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,环保,化工,能源,电子

品牌:ECM

型号:E-Chucks

ECM是一个拥有30多年成功的技术公司。公司具有一支创新型PVD,CVD,热/室温/低温,离子注入,刻蚀等检测队伍。依靠完整的热解决方案,包含加热/冷却基座/BSG整治线小型或大批量生产能力,通过高质量产品和生产工艺一致性,成为客户满意的生产单位。北京朗铭润德光电有限公司作为ECM公司E-Chucks静电夹持卡盘设备的代理,为中国的广大客户提供完善的技术支持和售后支持。

产品用途:静电夹持卡盘基于电容技术同时可以整合基片的冷却和加热。用于PVD,CVD, 干法刻蚀,离子植入等设备。

适用衬底材料:硅,三五族化合物半导体和绝缘体等。

适用衬底尺寸: *大450mm直径基片

可根据客户要求定制。

合作客户部分名单:

Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等

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