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CT-BW燃烧-水洗

更新时间:2021-01-21

访问量:92

厂商性质:生产厂家

生产地址:

简要描述:
CT-BW 燃烧-水洗

每个模块的废气总流量可达1,500slm

每个反应腔有四个独立的废气进口

高达99.99%的处理效率(DRE)

经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有良好的处理效率
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,环保,化工,能源,电子

每个模块的废气总流量可达1,500slm

每个反应腔有四个独立的废气进口

 

高达99.99%的处理效率(DRE)

 

经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有良好的处理效率

 

针对半导体EPI制程,特别设计CT-BW-EPI设备

 

燃烧反应腔的水幕设计大幅降低了腐蚀及粉尘沉积的问题

 

 

每个模块的废气总流量可达1,500slm

 

每个反应腔有四个独立的废气进口

 

高达99.99%的处理效率(DRE)

 

经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有良好的处理效率

 

针对半导体EPI制程,特别设计CT-BW-EPI设备

 

燃烧反应腔的水幕设计大幅降低了腐蚀及粉尘沉积的问题

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